產(chǎn)品型號(hào)
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產(chǎn)品分類
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v 應(yīng)用范圍：對(duì)重?fù)诫s碳化硅（SiC）表面沉積的過(guò)渡金屬進(jìn)行退火，形成良好的歐姆接觸
v 加工尺寸：4inch、6inch
v 加工速度：1000mm/s
v 加工精度：±1μm
v 平臺(tái)參數(shù)：行程300mm×300mm
v 重復(fù)定位精度：±0.001mm
v 激光器參數(shù):紫外
v 稼動(dòng)率:98%以上
v 重大故障間隙時(shí)間:＞1000H
v 良率:≥99.5%
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