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Nikon NSR 1755/1505i7A/B
1.Nikon NSR 1755/1505i7A/B步進式光刻機
光源波長365nm
分辨率優(yōu)于0.6µm
主要用于2寸、4寸、6寸生產線
廣泛應用于化合物半導體、MEMS、LED等領域
2.產品詳情
主要技術指標
分辨率0.6µm
N.A.0.6
曝光光源365nm
倍率5:1
曝光現(xiàn)場15mm*15mm
17.5mm*17.5mm
對準精度140nm
3.更多服務:
提供中英文軟件及2"、4"、6"設備硅片改造
常年提供所有備件、耗材