產品型號
廠商性質
更新時間
瀏覽次數(shù)
產品分類
相關文章
Canon FPA5000 ES3
1.Canon FPA5000 ES3掃描式光刻機
光源波長248nm
分辨率優(yōu)于0.18µm
主要用于6寸、8寸及12寸生產線
廣泛應用于化合物半導體、MEMS、LED等領域
2.產品詳情
主要技術指標
分辨率0.18µm
N.A.0.6-0.73
曝光光源248nm
倍率4:1
曝光現(xiàn)場26mm*33mm
對準精度35nm
3.更多服務
提供中英文軟件及6"、 8"、12"設備硅片改造
常年提供所有備件、耗材